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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置：首頁  /  產(chǎn)品展示  /    /  TORAY東麗  /  LC-860日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）

  • 產(chǎn)品型號：LC-860
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-11-29
  • 訪  問  量：288
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聯(lián)系電話：15510102388

詳細介紹

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀介紹：

血YANG定量計半導(dǎo)體、LCD 和電子元件相關(guān)應(yīng)用用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

血YANG儀 MS-500

MS-500

  • 最多可同時測量 8 個點

  • 可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。

  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。

  • 傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）

  • 堅固耐用的傳感器，帶有特殊涂層，更耐用

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀MS-500 規(guī)格：

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 分體式（換能器：壁掛式、傳感器：直插式）
顯示方式 數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動柜員機
自動量程
重復(fù)性 ± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高
±1%FS或小于0.1ppm ± 小于
0-1% 范圍 0-1ppm，ATM范圍超出濃度保證范圍
測量點數(shù) 1~8
樣氣條件 壓力 10-3~200KPa（絕對壓力）
流量 0.5~5,000mL/min或0mL/min（自發(fā)擴散狀態(tài)的測量）
濕度 露點低于環(huán)境溫度
溫度 0~100°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機輸出 僅傳輸輸出
傳輸功率 RS-232C接口
報警輸出 沒有
預(yù)熱時間 6分鐘內(nèi)
大小 MS-500 （控制器） 92 （W） × 44 （H） × 120 （D） （不包括突起部分）
MS-510 （轉(zhuǎn)換器） 100 （W） × 40 （H） × 88 （D） （不包括突起部分）
傳感器單元 SD16NW系列 全長：100mm（感應(yīng)部分Φ11×39、機身部分Φ40×51）
SD25NW系列 全長：100mm（感應(yīng)部分Φ11×42、機身部分Φ40×48）
SD40NW系列 全長：100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，機身部分Φ40×49）
質(zhì)量 MS-500 （控制器） 約0.6Kg
MS-510 （變壓器） 約0.5kg
傳感器單元 SD16NW系列 約0.2Kg
SD25NW系列 約0.2Kg
SD40NW系列 約0.35Kg
外部連接 任何真空法蘭（NW16、25、40）
使用的電源 24VDC±10%

血YANG儀 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

  • 可以顯示
    從寬濃度范圍內(nèi)測量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。

  • 提高傳感器耐久性氧
    傳感器經(jīng)過特殊處理，可提高耐久性。

  • 交流寬電源 AC100~240VAC （LC-450A）
    *LC-450D 是 DC24V 驅(qū)動

  • 結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝，
    深度甚至比我們的傳統(tǒng)型號更短，而且不占用太多空間。

  • 符合RoHS指令的產(chǎn)品

  • CE標志自我聲明的物品
    EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003

LC-450A 規(guī)格：

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 桌面/面板安裝
顯示方式 數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復(fù)性 ±在1%FS0-1ppm以內(nèi)，大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式 內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件 壓力 加壓小于30KPa
流量 1,000~2,000毫升/分鐘
濕度 露點低于環(huán)境溫度
溫度 0~50°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機
輸出		 氧氣濃度輸出 4-20 mA 或 0-20 mA 開關(guān)（可選 0-10 V） 隔離、負載電阻 550 Ω以下
記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關(guān)系
輸出范圍 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率 RS-232C接口
報警輸出 FAIL（設(shè)備錯誤） 1 分 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因
設(shè)備異常導(dǎo)致觸點閉合（觸點操作可更改）
ALM（濃度報警） 2 分 （H/L） 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 發(fā)生報警時
觸點閉合（觸點操作可更改）
RDY（預(yù)熱信號） 1 分 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下

  • 無電壓觸點的最小開關(guān)容量為 12 V 或更高，無法處理小負載。
MRK（范圍標記）輸出 2 積分 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預(yù)熱時間 5分鐘內(nèi)
大小 物質(zhì) 210 （W） × 134 （H） × 300 （D） mm （不含突起部分）
質(zhì)量 約6kg
氣體
連接端口		 入口 RC1/4型
旁路輸出 RC1/4型
出口 RC1/4型
使用的電源 100~240VAC， 50VA （穩(wěn)態(tài)： 35VA） 50Hz/60Hz

LC-450D 規(guī)格

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 桌面/面板安裝
顯示方式 數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復(fù)性 ±在1%FS0-1ppm以內(nèi)，大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式 內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件 壓力 加壓小于30KPa
流量 1,000~2,000毫升/分鐘
濕度 露點低于環(huán)境溫度
溫度 0~50°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機
輸出		 氧氣濃度輸出 0-10VDC，隔離，負載電阻600kΩ以上
（可選：4-20mADC，隔離，負載電阻550 Ω以下）
記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關(guān)系
輸出范圍 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率 RS-232C接口
報警輸出 FAIL（設(shè)備錯誤） 1 分 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因
設(shè)備異常導(dǎo)致觸點閉合（觸點操作可更改）
ALM（濃度報警） 2 分 （L/LL） 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 發(fā)生報警時
觸點閉合（觸點操作可更改）
RDY（預(yù)熱信號） 1 分 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 預(yù)熱操作時
觸點閉合（觸點操作可更改）

  • 非電壓觸點的最小開關(guān)電容大于 12 V 或 20 mA，無法處理小負載
MRK（范圍標記）輸出 2 積分 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預(yù)熱時間 5分鐘內(nèi)
大小 物質(zhì) 240 （W） × 134 （H） × 210 （D） mm （不含突起部分）
質(zhì)量 約5kg
氣體
連接端口		 入口 RC1/8型
旁路輸出 RC1/8型
出口 RC1/8型
使用的電源 24VDC±10%， 1.25A （30VA， 穩(wěn)態(tài)）

血YANG儀LC-860

LC-860

  • 低濃度測量：能夠
    測量從ppb級到100%

  • 易于操作：使用單獨的按鍵即可輕松操作

  • 吹掃功能比較
    氣體進一步穩(wěn)定，可以進行更精確的測量（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格）

  • 高可靠性傳感器：
    傳感器內(nèi)部也可進行防劣化處理（可選）

LC-860 規(guī)格：

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 桌面/面板安裝
顯示方式 數(shù)字 6 位顯示（密度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0ATM
自動/固定范圍
重復(fù)性 ± 氧氣濃度小于
1 ppm和0-1 ppm，大氣壓范圍在1%FS以內(nèi)均超出濃度保證范圍。
取樣方式 內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件 壓力 加壓小于30KPa
流量 ~1,500毫升/分鐘
濕度 露點低于環(huán)境溫度
溫度 0~50°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機
輸出		 氧氣濃度輸出 4-20mA/0-10V
4-20mA：隔離、負載電阻 600 Ω以下
0-10V：絕緣，負載電阻 500 Ω以上
記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度呈線性關(guān)系
輸出范圍 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個量程自動/固定量程
傳輸功率 RS-232C接口
報警輸出 FAIL（設(shè)備錯誤） 1 分 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因
設(shè)備異常導(dǎo)致觸點閉合（觸點操作可更改）
ALM（濃度報警） 2 積分 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 發(fā)生報警時
觸點閉合（觸點操作可更改）
RDY（預(yù)熱信號） 1 分 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.5A以下 預(yù)熱操作時
觸點閉合（觸點操作可更改）

  • 無壓觸點的最小開關(guān)容量為12V以上，無法處理小負載。
MRK（范圍標記）輸出 3分 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下
預(yù)熱時間 20分鐘內(nèi)
大小 物質(zhì) 288 （W） × 144 （H） × 400 （D） mm （不包括突起部分）
質(zhì)量 約10kg
氣體
連接端口		 入口 RC1/8型
旁路輸出 RC1/8型
出口 RC1/4型
使用的電源 100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz

 


 

 

 

 

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